EDWARDS IPUP2真空泵創(chuàng)立加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用新標準

真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)制造商和相關(guān)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)已經(jīng)推出了針對應(yīng)用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用的全新集成式真空泵IPUP2。該**代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護要求方面具有明顯優(yōu)勢，這些性能結(jié)合起來為其帶來同類佳的性能和成本。該泵已經(jīng)獲得初步成功，在應(yīng)用材料公司的多類新設(shè)備平臺上取得了使用，并且已經(jīng)向主要半導(dǎo)體制造商提供過180套系統(tǒng)。

Edwards公司銷售總經(jīng)理馬克?格林(Mark Greene)評論說：“我們努力地工作，達到并越應(yīng)用材料公司對泵的要求。IPUP2的設(shè)計減少抽真空時間50%左右，能耗節(jié)約70%，在大修間隔期免維護。很多半導(dǎo)體制造廠商，甚至那些與我們競爭對手長期合作的制造廠商， 很快通過這些訂單認識到了IPUP2的抽氣能力和成本優(yōu)勢?！?/span>

　　IPUP2是為滿足應(yīng)用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規(guī)格而設(shè)計。IPUP2的抽氣速率和功率曲線得到了優(yōu)化，以增加機臺產(chǎn)出能力，大抽速可達180 m3/h，與代相比快89%，抽真空時間縮短54%，同時能耗節(jié)約70% (使用“綠色模式”還可進一步節(jié)能)。該泵中采用的軸承運行平穩(wěn)、低震動，機油潤滑的軸承和定時齒輪使得大修之間無需常規(guī)維護。IPUP2包括水平和垂直進氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵的得分很高，平均故障間隔(Semi E10標準的MTBF)為5年，可實現(xiàn)過300萬次加載互鎖工作循環(huán)。