普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum)發(fā)布新款節(jié)能型干泵 A 100 L ES

• 節(jié)能50%以上
• 結(jié)構(gòu)緊湊、高抽速
• 清潔制成的理想選擇

A 100 L 緊湊型干泵是專為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備靈活集成的要求而量身定制的一款 產(chǎn)品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無腐蝕應(yīng)用(noncorrosive applications)的清潔制成環(huán)境中的理想選擇。

盡管這款干泵結(jié)構(gòu)緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來的抽速和高速響 應(yīng)的停機時間。現(xiàn)今，A 100 L干泵已經(jīng)應(yīng)用于全球的半導(dǎo)體工廠，并且適用于無塵室工作 事。

在A 100 L基礎(chǔ)上的新款A(yù) 100 L ES（ES=Energy Saving）系列經(jīng)過測試能夠節(jié)能50%以上，在低壓范圍內(nèi)其抽速表現(xiàn)依舊 。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

一個典型的案例：300毫米制成的半導(dǎo)體工廠在加載互鎖真空室（loadlock) 裝備1300臺泵，一年能夠節(jié)約10GWh以上的能源，相當(dāng)于大約36萬 歐元，5.1噸的二氧化碳排放。

此外為了節(jié)約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10^-4 mbar (hPa)。這了在要求低壓環(huán)境下提高抽氣速度新的潛在應(yīng)用。同時泵的 噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無疑填補了我們在light
duty process中產(chǎn)品節(jié)能的要求，就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供的節(jié)能產(chǎn)品。