在低壓強(qiáng)范圍內(nèi)提供大抽速
安捷倫公司的渦旋泵產(chǎn)品線提供的無(wú)油真空,并可以很方便地集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中,因而適合多種和工業(yè)應(yīng)用。該泵利用簡(jiǎn)單的雙渦盤(pán)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生真空,即一個(gè)嵌套渦殼圍繞另一個(gè)旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生捕集氣體運(yùn)動(dòng)的空間。氣體從周邊進(jìn)入渦旋泵,并被轉(zhuǎn)移和壓縮至中央轂,然后在中央轂處排放,從而產(chǎn)生低極限壓力和大抽速。我們的干式渦旋泵是許多高標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用的理想初級(jí)泵,具有耐用、、易于維護(hù)的特點(diǎn)。
IDP-3 的抽速為 60 升/分鐘。
IDP-3特點(diǎn):
無(wú)油
功能
抽速 60 升/分
高性能
的無(wú)油真空
低噪音、低振動(dòng)
維護(hù)次數(shù)少、成本低
容易集成到任何系統(tǒng)中
安捷倫 渦旋式干泵 IDP-3
Technical Specifications
Peak Pumping Speed (60 Hz) | 60 L/M, 3.6 M3/Hr, 2.1 Cfm |
Peak pumping speed (50 Hz) | 50 L/m, 3.0 m3/hr, 1.8 cfm |
Ultimate pressure | 2.5 × 10-1 torr (3.3 × 10-1 mbar, 33 Pa) |
Maximum inlet pressure | 1 atm (0 psig) |
Maximum outlet pressure | 1.4 atm (6.5 psig) |
Exhaust connection | 1?4-in. female nat’l pipe thread (10 mm hose barb provided) |
Exhaust connection adapter | NW16 KF adapter provided |
Gas ballast connection | 1?8-in. female nat’l pipe thread |
Ambient operating temp | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) |
Storage temperature | –20 to 60 °C (–4 to 140 °F) |
Motor rating | 0.16 horsepower (0.12 kW) |
Motor thermal protection | Automatic |
Rotation speed | 60 Hz: 3200 RPM; 50 Hz: 2600 RPM; 24V DC: variable speed, factory setting: 3200 RPM |
Cooling | Air-cooled |
Weight | 9.5 kg (21 lbs) Ship: 10.5 kg (23 lbs) |
Restrictions | No corrosive, explosive, particulate-forming gas |
Leak rate (exhaust sealed) | <1 × 10-6 std-cc/sec helium |
Noise level (ISO 11201) | 55 dB(A) |
Vibration at inlet (ISO 11201) | 1.5 mm/sec |
Compliance | CE, CSA, CSA/CUS, Semi S2-703, RoHS |
Outline Drawing
干泵型號(hào) | IDP-2 | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | · TriScroll 600 |
抽速(l/min) | 30 | 50 | 90 | 210 | 420 |
極限真空(mbar) | 0.1 | 0.33 | 6.6 x 10-2 | 1.3 x 10-2 | 9.3 x 10-3 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
體積(mm3) | 351x181x140 | 384 x 240 x 276 | 437 x340 x325 | 471 x355 x343 | |
重量(Kg) | 9.5 | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
IDP-2、IDP-3 干泵是Agilent公司新推出的緊湊型全無(wú)油的高性能真空泵,能夠適合的應(yīng)用需要。IDP-2 是上的渦旋泵,用于粗真空獲得應(yīng)用,重量?jī)H有9.5Kg,能夠輕而易舉地集成到實(shí)驗(yàn)、分析、生產(chǎn)系統(tǒng)當(dāng)中。IDP-3 所具有的60/升/分鐘抽氣速度以及 250mTorr(約33Pa)極限壓強(qiáng),使其在同級(jí)別產(chǎn)品當(dāng)中具有無(wú)可匹敵的優(yōu)勢(shì)。
干泵/干式蝸旋泵產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 全無(wú)油泵,不會(huì)污染真空系統(tǒng)
◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì)
◆ 體積小巧:351x181x140mm
◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強(qiáng)
◆ 無(wú)任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件
◆ 低噪聲,低振動(dòng)
Agilent SH-110全密封干式渦旋泵具有業(yè)內(nèi)的真空獲得性能,結(jié)構(gòu)緊湊,能夠輕易地實(shí)現(xiàn)與現(xiàn)有、生產(chǎn)設(shè)備的真空系統(tǒng)相集成。此型號(hào)單級(jí)渦旋泵具有110升/分鐘的抽速(60Hz電源條件下),可獲得50mTorr(約67Pa)的極限真空,即使單獨(dú)作為粗真空獲得設(shè)備也是理想的選擇。SH-110渦旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多種標(biāo)準(zhǔn)。
干泵/干式蝸旋泵性能特點(diǎn):
◆ 工作狀態(tài)下泵體發(fā)熱低
◆ 馬達(dá)功率不到200瓦,低功耗
◆ 內(nèi)置出氣閥門(mén)降低工作噪聲
◆ 出氣口位置可以動(dòng),以便更好地適應(yīng)空間要求
◆ 高壓區(qū)間抽速高,迅速進(jìn)入真空狀態(tài)
◆ 重量輕,配有把手,易于攜帶
◆ 內(nèi)置故障保護(hù)隔離閥真空系統(tǒng)的
◆ 配有自動(dòng)氣鎮(zhèn)閥以排空水蒸氣
◆ 維護(hù)簡(jiǎn)便,只需定期更換密封圈即可
TriScroll 300干泵 是Agilent公司生產(chǎn)的一款用于初級(jí)真空獲得的多級(jí)干式渦旋泵產(chǎn)品,具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 300 以高抽速為用戶(hù)提供了具有較低極限真空的無(wú)油潔凈真空環(huán)境。多年的實(shí)際應(yīng)用證明,Agilent 獨(dú)有的TriScroll 300 設(shè)計(jì)具有很高的性和耐用性,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,性?xún)r(jià)比突出。
干泵/干式蝸旋泵特點(diǎn):
◆ 具有軸承吹掃功能,保護(hù)軸承不被工藝氣體或粉塵污染
◆ 高性
◆ 具有自動(dòng)氣鎮(zhèn)口
TriScroll 600干泵 是Agilent公司生產(chǎn)的一款用于初級(jí)真空獲得的多極干式渦旋泵產(chǎn)品,具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 600 以高抽速為用戶(hù)提供了具有較低極限真空的無(wú)油潔凈環(huán)境。多年的實(shí)際應(yīng)用證明,Agilent獨(dú)有的TriScroll設(shè)計(jì)具有很高的性和耐用性,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,性?xún)r(jià)比突出。
Agilent公司利用干式渦旋真空獲得為用戶(hù)提供了高抽速,低極限壓強(qiáng)的真空泵產(chǎn)品。干式渦旋泵具有全無(wú)油、高耐用性、高性以及易維護(hù)等優(yōu)勢(shì),是眾多應(yīng)用的理想前級(jí)真空獲得產(chǎn)品。