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真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中應(yīng)該注意的問(wèn)題
日期：2024-11-29 23:20
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摘要：
(1)真空元件,如閥門(mén)、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯(lián)接時(shí),應(yīng)盡量作到抽氣管路短,管道流導(dǎo)大,導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑,這是系統(tǒng)設(shè)計(jì)的一條重要原則。但同時(shí)要考慮到安裝和檢修方便。有時(shí)為了防振和減少噪音,允許機(jī)械泵設(shè)置在靠近真空室的泵房?jī)?nèi)。
(2)機(jī)械泵(包括羅茨泵)有振動(dòng),要防止振動(dòng)波及整個(gè)系統(tǒng),通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種,不論采用那種軟管要在大氣壓力作用下不被壓癟。
(3)真空系統(tǒng)建成后,應(yīng)便于測(cè)量和檢漏。生產(chǎn)實(shí)際告訴我們,真空系統(tǒng)在工作過(guò)程中,經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔,要進(jìn)行分段檢漏,因此每一個(gè)用閥門(mén)封閉的區(qū)間,至少要有一個(gè)測(cè)量點(diǎn),以便測(cè)量和檢漏。
(2)機(jī)械泵(包括羅茨泵)有振動(dòng),要防止振動(dòng)波及整個(gè)系統(tǒng),通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種,不論采用那種軟管要在大氣壓力作用下不被壓癟。
(3)真空系統(tǒng)建成后,應(yīng)便于測(cè)量和檢漏。生產(chǎn)實(shí)際告訴我們,真空系統(tǒng)在工作過(guò)程中,經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔,要進(jìn)行分段檢漏,因此每一個(gè)用閥門(mén)封閉的區(qū)間,至少要有一個(gè)測(cè)量點(diǎn),以便測(cè)量和檢漏。
(4)真空系統(tǒng)中配置的閥門(mén)和管道,應(yīng)使系統(tǒng)抽氣時(shí)間短,使用方便,。一般在有一個(gè)蒸氣流泵作為主泵(擴(kuò)散泵或油增壓泵);和一個(gè)機(jī)械泵作為前級(jí)泵的系統(tǒng)上,除了有前級(jí)管道(蒸氣流泵串聯(lián)機(jī)械泵的管道)外,還應(yīng)有一個(gè)預(yù)真空管道(真空室直通機(jī)械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設(shè)有高真空閥門(mén)(也稱主閥),在前級(jí)管道上設(shè)有前級(jí)管道閥(也叫低真空閥);在預(yù)真空管道上設(shè)置預(yù)真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門(mén),通常不能在閥蓋下為真空狀態(tài),而閥蓋上為大氣壓狀態(tài)下開(kāi)閥,這要通過(guò)電氣聯(lián)鎖。前級(jí)管道閥和預(yù)真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開(kāi)閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統(tǒng),主閥要蓋向主泵,前級(jí)管道閥也要蓋向主泵,預(yù)真空管道閥蓋向真空室。
在機(jī)械泵入口管道上,應(yīng)設(shè)一個(gè)放氣閥門(mén),當(dāng)機(jī)械泵停止工作時(shí),能立即打開(kāi)此閥,使機(jī)械泵入口通入大氣,防止機(jī)械泵油返流到管路中,因此該閥要和機(jī)械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門(mén),給裝料和取料時(shí)用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時(shí),氣體沖力較大,防止因沖力過(guò)大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān),要考慮放氣時(shí)間不能太長(zhǎng),影響工作。
在機(jī)械泵入口管道上,應(yīng)設(shè)一個(gè)放氣閥門(mén),當(dāng)機(jī)械泵停止工作時(shí),能立即打開(kāi)此閥,使機(jī)械泵入口通入大氣,防止機(jī)械泵油返流到管路中,因此該閥要和機(jī)械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門(mén),給裝料和取料時(shí)用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時(shí),氣體沖力較大,防止因沖力過(guò)大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān),要考慮放氣時(shí)間不能太長(zhǎng),影響工作。
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