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真空系統(tǒng)介紹
日期：2024-11-29 23:20
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摘要：
真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。
該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。
真空系統(tǒng)自啟動后，運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動，其波動范圍可根據(jù)用戶要求進行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達到佳流程工藝。
臺真空泵啟動后達不到設定所需真空時**臺真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值后臺真空泵停止接著**臺真空泵停止循環(huán)工作。我司的真空系統(tǒng)可在無人操作情況下對系統(tǒng)進行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
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